Установка вакуумного напыления Sunicoat-1000
14 сентября 2018
337
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Пензенская область, Пенза |
| Страна производства | Швейцария |
| Год производства | 2002 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | от 27 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Технические характеристики: Обработка до 24 подложек размером 48х60мм за один рабочий цикл; Напыление плёнок 3 магнетронами 4 тигля с заслонками объёмом 10 см3 для термовакуумного испарения Возможность поворота подложек. Скорость вращения подложкодержателя до 10 об/мин Подогрев подложек до 250 oC Скорость напыление: до 2000Å/мин (Cu, 1,5кВт); Однородность толщины напылённых плёнок: < ±5%(при толщине покрытия 200нм); 4 линии подачи газа для Ar, O2, N2 (рабочий), N2 (продувка); Регулирование расхода газа: