Установка плазмохимического травления ПХТ-150
14 сентября 2018
626
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Новосибирская область, Новосибирск |
| Страна производства | РФ |
| Год производства | 2009 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 10 млн руб |
| Стоимость предоставления услуг | от 44 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Установка ПХТ-150 предназначена для осуществления плазмохимического травления пленок кремния, оксида и нитрида кремния при температурах 50-300 OС в реакторе индукционного типа с высокой однородностью по площади (150 мм).