| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Германия |
| Год производства | 2009 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 10 млн руб |
| Стоимость предоставления услуг | от 2 796 руб. |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Установка совмещения и экспонирования для контактной литографии базового уровня.
Экспонирование высокого разрешения - до 0,5 микрон.
Размер обработки пластин - до 100 мм.
Специальные держатели для кусков пластин.
Экспонирование высокого разрешения - до 0,5 микрон.
Размер обработки пластин - до 100 мм.
Специальные держатели для кусков пластин.