Модуль осаждения из газовой фазы для установки плазмохимического травления ПХО100
14 сентября 2018
374
Классификация оборудования | |
Страна, регион, город | Российская Федерация, Якутия, Якутск |
Страна производства | РФ |
Год производства | 2013 |
Предоставляемое количество | 1 |
Условия использования | |
Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Стоимость предоставления услуг | от 42 000 руб. |
Регламент предоставления услуги | 1 |
Объект коллективного пользования | Нет |
Наличие аккредитации | Нет |
Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
•Получение диэлектрических слоев для нужд планарной электроники (SiO2, Si3N4, Al2O3, SiNO) методом плазмохимического осаждения из газовой фазы.