Установка плазмохимического травления и осаждения PlasmaLab System 100 (Oxford Plasma Technology)
14 сентября 2018
409
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Великобритания |
| Год производства | 2014 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | от 10 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Предназначена для проведения презиционного направленного и изотропного травления материалов в атмосфере фтористой плазмы (для кремния и его соединений, включая Бош-процесс; одна установка) и хлористой плазмы (для соединений типа III-V и II-VI, металлов, оксидов; вторая установка)