Высоковакуумная установка МПЭ SiGe гетероструктур «RIBER SIVA 21»
14 сентября 2018
582
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Нижегородская область, Нижний Новгород |
| Страна производства | Франция |
| Год производства | 2015 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | от 50 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Установка оборудована двумя электронно-лучевыми испарителям большой емкости для испарения Si и Ge; двумя эффузионными ячейками для примесей, масс-спектрометром для контроля за испаряемыми потоками; двумя кварцевыми датчиками измерения толщины; системой дифракции быстрых электронов; системой перегрузки подложек диаметром до 100 мм; системой автоматизации ростового процесса. Точность контроля количества осаждаемых слоев составляет доли монослоя.
| Наименование | Страна производства | Условия использования | Расположение |
|---|---|---|---|
| Установка атмосферно-вакуумного фракционирования 24-100 (B/R) | США | Аренда, Заказ исследования | Москва |
| Вакуумная напылительная установка MagSput-DC-RF (Torr Instruments) | США | Аренда, Заказ исследования | Москва |
| Компрессорная установка CD-9 | Германия | Аренда, Заказ исследования | Красноярск |
| Высоковакуумная безмасляная система откачки | РФ | Аренда, Заказ исследования | Новосибирск |
| Высоковакуумная установка SPECS Surface (Nano Analysis GmbH) | Германия | Аренда, Заказ исследования | Казань |
| Научно-исследовательский нанотехнологический комплекс "Riber SSC2" на основе сверхвысоко-вакуумного центра для исследования поверхности | Франция | Аренда, Заказ исследования | Москва |