Вакуумный пост ВУП-5М (Селми) с ионно-лучевой приставкой для магнетронного распыления
14 сентября 2018
541
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Карелия, Петрозаводск |
| Страна производства | РФ |
| Год производства | 2003 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | от 45 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Предназначен для нанесения покрытий, контрастирования объектов для электронно-микроскопических исследований и т. п.Магнитораспыляющая система обеспечивает: универсальность процесса, что позволяет получать пленки металлов, сплавов и полупроводников; высокую скорость осаждения с возможностью ее регулирования в широких пределах; сохранение соотношения компонентов при распылении вещества сложного состава; получение особо чистых пленок; высокую адгезию пленок и подложки; возможность изменения структуры и свойств пленок; распыление нескольких материалов без разгерметизации объема; низкую пористость пленок даже при малых толщинах; небольшое тепловое воздействие на обрабатываемую структуру; высокую энергетическую эффективность процесса; использование для осаждения и травления широкого класса материалов.