Установка плазмохимического травления STS CPX
14 сентября 2018
550
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Великобритания |
| Год производства | 2013 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | от 50 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Предназначена для травления диэлектрических (нитрид кремния, оксид кремния, ФСС и т.д.) и проводящих слоев (кремний, поликремний), кроме того установка обеспечивает процесс сверхглубокого травления кремния, так называемый BOSCH-процесс, который является наиболее важным для технологии формирования МЭМС.