Нанотехнологический комплекс "Нанофаб 100" (НТ-МДТ) с модулями молекулярно-лучевой эпитаксии, вакуумного сканирующего зондового микроскопа, электронного микроскопа и фокусированного ионного пучка
14 сентября 2018
348
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | РФ |
| Год производства | 2014 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | от 35 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Предназначен для формирования нанотехнологических комплексов с кластерной компоновкой. Формируемые на платформе НАНОФАБ 100 нанотехнологические комплексы (НТК) включают технологические модули с возможностями групповых и нанолокальных методов обработки подложек диаметром до 100 мм, а также контрольно-измерительные модули. При формировании НТК группы технологических и контрольно-измерительных модулей объединяются в кластеры, которые связываются в технологические цепочки через модули межоперационной передачи и складирования образцов.