Спектральный эллипсометрический комплекс "ЭЛЛИПС-1891М" (ИФП РАН)
14 сентября 2018
493
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | РФ |
| Год производства | 2011 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | от 10 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Предназначен для прецизионных измерений толщин тонких пленок, оптических параметров тонкопленочных структур и спектральных зависимостей оптических констант поверхностей различных материалов. Спектроэллипсометр отличается однозначностью вычисления эллипсометрических параметров: они измеряются в полном диапазоне их значений (Ψ - от 0 до 90 градусов; Δ - от 0 до 360 градусов) с одинаковой точностью и чувствительностью, что обеспечивает однозначную интерпретацию результатов измерений.