Система магнетронного напыления МАГ-2000 (Протон-МИЭТ)
14 сентября 2018
511
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | РФ |
| Год производства | 2013 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | до 100 т.р. |
| Стоимость предоставления услуг | от 1 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Предназначена для напыления проводящих и панцирно-жёстких плёнок на образцы для зондовых микроскопов. Отличается рекордно малой толщиной сплошного покрытия, 8 Å для W и 10 Å для С, мало зависящей от угла наклона. Распыляет проводящие немагнитные материалы, в т.ч. легированные полупроводники. Диаметр пятна равнотолщинного напыления 50 мм, скорость напыления 1 А/с. Состоит из равновесного 30 Вт магнетрона и блока управления с заданием времени экспозиции. Магнетрон встраивается пользователем в любой пост с вакуумом до 10-5 Торр и напуском аргона до 10-3 Торр, например, ВУП-5.