Установка реактивного ионного травления Plasmalab 80 Plus (Oxford Instruments)
14 сентября 2018
423
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Новосибирская область, Новосибирск |
| Страна производства | Великобритания |
| Год производства | 2008 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | договорная |
| Регламент предоставления услуги | Согласно Регламенту выполнения работ ЦКП "Высокоразрешающая спектроскопия газов и конденсированных сред". |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Предназначена для травления кварцевых и кремниевых подложек через маски, сформированные в пленках хрома или фоторезиста