Установка плазмохимического травления ЭТНА-100-ПТ (НТ-МДТ)
14 сентября 2018
477
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Самарская область, Самара |
| Страна производства | РФ |
| Год производства | 2014 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | от 21 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Предназначена для травления диэлектрических и полупроводниковых материалов с использованием ICP источника; Bosch процесс, высокоаспектное травление кремния на глубины более 100 мкм.