Автоматическая установка реактивно-ионного и плазмохимического травления "Каролина 15" (Эстовакуум)
14 сентября 2018
524
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | РФ |
| Год производства | 2012 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 10 млн руб |
| Стоимость предоставления услуг | от 15 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Установка обеспечивает травление и микропрофилирование кремний содержащих слоев (оксиды, нитриды, поликремний, монокристаллический кремний), слоев сложных полупроводников (арсенида и нитрида галлия), а также пленок алюминия, меди, титана, нитрида титана, золота, серебра и платины