Установка плазменного травления диэлектрических покрытий 210 IL (Corial)
14 сентября 2018
407
Классификация оборудования | |
Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
Страна производства | Франция |
Год производства | 2007 |
Предоставляемое количество | 1 |
Условия использования | |
Стоимостная группа | от 10 млн руб |
Стоимость предоставления услуг | от 15 000 руб. |
Регламент предоставления услуги | — |
Объект коллективного пользования | Нет |
Наличие аккредитации | Нет |
Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Позволяет проводить технологические операции создания межприборной изоляции; глубокого анизотропного травления (в том числе кремния); травления «cложных» материалов (карбиды, нитриды); сквозного травления обратной стороны (back-etch, via), травления металлизации; и многих других.