Установка напыления металлов LAB 18 (Kurt Lesker)
14 сентября 2018
464
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | США |
| Год производства | 2007 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | от 18 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Предназначена для магнетронного распыления (напыления) металлов. Для термического распыления установка оснащается тремя испарителями «лодочками». Для магнетронного распыления могут устанавливаться до четырех магнетронов. Электронно-лучевой испаритель доступен в различных модификациях и может комбинироваться с термическим, магнетронным или испарителем органических материалов. В качестве опции очистки предлагается ионная пушка. Управление установкой осуществляется при помощи ПК с «тач-скрин» дисплеем. Установка работает как в полностью ручном, так и в автоматическом режиме по рецептам. В автоматическом режиме выполнение программы происходит по нажатию одной кнопки. Система настраивается таким образом, что стандартный процесс инициируется кнопкой старт сразу после закрытия камеры: откачка, очистка, напыления и напуск происходят автоматически по заранее заложенной программе.