Автоматическая установка реактивно-ионного и плазмохимического травления Caroline 15 PE (ЭСТО-Вакуум)
14 сентября 2018
450
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | РФ |
| Год производства | 2011 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | от 6 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Используется в технологиях оптико-электронного приборостроения, микроэлектроники, нано-опто-электроники и многих других. Плазмохимическое травление позволяет выполнить любые задачи по скоростному травлению диэлектриков, металлов (в том числе золота, меди), монокристаллического кремния, арсенида и нитрида галлия, полиамида и других материалов, широко используемых, например, в построении современных систем голографической памяти. Плазмохимическое травление позволяет получать рельефно-фазовые голограммные оптические элементы (ГОЭ), дифракционные оптические элементы (ДОЭ) и киноформные оптические элементы (КОЭ) на стеклянных и полупроводниковых пластинах диаметром до 200 мм.
