Ионно-лучевая установка ИЛУ-200 (НИФТИ)

Предназначена для модификации приповерхностных свойств твердых тел и тонких пленок, легирование полупроводников, ионно-лучевой синтез захороненных сплошных слоев и наноструктур, инженерия дефектов, а также формирование приборных слоев и структур микро-, нано- и оптоэлектроники. Атомы внедряемой примеси ионизируются в источнике ионов, позволяющем получить пучки ионов различных веществ. Экстрагированный из источника и сфокусированный электростатической линзой ионный пучок ускоряется полем секционной трубки и разделяется по массам электромагнитным анализатором. Взаимодействуя с атомами мишени, ионы многократно рассеиваются, теряют энергию и останавливаются на некотором расстоянии от поверхности, обычно на глубинах 0,01-1 мкм.