Установка плазмохимического травления индуктивно связанной плазмой 210IL (Corial)
14 сентября 2018
492
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Франция |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
Предназначена для плазмохимического травления GaN, GaAs, GaP, GaAlAs, InP, InGaAsP, ZnS, CdTe, AlN, InAs, Al и Si. Система может быть укомплектована CCD-камерой с лазерным датчиком, который в реальном времени измеряет толщину стравливаемого слоя. Программное обеспечение позволяет создать многошаговый процесс и полностью автоматизировать его.Новое программное обеспечение COSMA Pulse позволяет реализовывать Bosch-процесс.
Основные возможности:
Уникальный дизайн специальных подложкодержателей позволяет адаптировать реактор под широкий спектр применений. Это позволяет оптимизировать систему для различных процессов и для различных типоразмеров подложек
Контроль параметров плазменного разряда
Датчик процесса плазмохимического травления полностью интегрирован в систему и в программное обеспечение. Это дает возможность определять скорость травления и толщину стравленного слоя в режиме реального времени с последующей автоматической остановкой процесса
Удалённый доступ и удалённое управление системой по сети internet
Все системы Corial созданы по модульному принципу. Оборудование может быть усовершенствовано от простой RIE системы до системы ICP с вакуумным шлюзом и расширенной газовой панелью
Возможна установка шлюза для сокращения времени откачки
Основные возможности:
Уникальный дизайн специальных подложкодержателей позволяет адаптировать реактор под широкий спектр применений. Это позволяет оптимизировать систему для различных процессов и для различных типоразмеров подложек
Контроль параметров плазменного разряда
Датчик процесса плазмохимического травления полностью интегрирован в систему и в программное обеспечение. Это дает возможность определять скорость травления и толщину стравленного слоя в режиме реального времени с последующей автоматической остановкой процесса
Удалённый доступ и удалённое управление системой по сети internet
Все системы Corial созданы по модульному принципу. Оборудование может быть усовершенствовано от простой RIE системы до системы ICP с вакуумным шлюзом и расширенной газовой панелью
Возможна установка шлюза для сокращения времени откачки