Сверхвысоковакуумный нанотехнический СЗМ-комплекс Nanofab-100 (НТ-МДТ)

Предназначен для исследования геометрических параметров и физико-химических свойств микро и нанообъектов на поверхности различных образцов (включая полупроводниковые пластины диаметром до 100 мм) методами сканирующей зондовой микроскопии в условиях сверхвысокого вакуума. Определяющая область применения - микро- и наноэлектроника (в том числе и в производственных условиях). Давление остаточной атмосферы в СЗМ камере- 5*10-8 Па, объем СЗМ-камеры -21 л,- возможность работы в АСМ и СТМ режимах, замена иглы сканирования без напуска атмосферы,- автоматическое позиционирование образцов в диапазоне 100*100 мм:- размер образцов – не более 100*15 мм,- диапазоны сканирования иглы – 3*3*2.6 мкм и 80*80*10 мкм,- разрешение в плоскости ХУ –не более 0,15 нм, в плоскости Z -0,1 нм,- возможность отжига образцов в вакууме.