Установка магнетронного напыления Evatec LLS Evo II (Evatec)

14 сентября 2018
637
Классификация оборудования
Страна, регион, город Российская Федерация, Москва
Страна производства Швейцария
Предоставляемое количество 1
Условия использования
Продажа
Стоимостная группа от 10 млн руб

Описание

Позволяет проводить плазменную очистку подложек в загрузочном шлюзе, что предотвращает загрязнение процессной камеры. Магнетронное напыление с помощью постоянного (DC) и ВЧ (RF) тока, комбинированное (DC/RF) напыление, напыление с помощью постоянного тока в режиме пульсации. Модульная конструкция подложко-держателя позволяет быстро переоснащать систему под подложки различных типоразмеров. ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска.
Найти аналог
Вам может быть интересно
Наименование Страна производства Условия использования Расположение
Установка для определения размера пор и распределении их по размерам РФ Аренда, Заказ исследования Москва
Установка рентгено-спектральная СРМ-20 РФ Аренда, Заказ исследования Оренбург
Установка время-разрешенной фото-фононной спектроскопии РФ Аренда, Заказ исследования Казань
Установка искрового плазменного спекания Labox 1575 (SINTER) Япония Аренда, Заказ исследования Новосибирск
Масс-спектрометрическая установка на вторичных ионах с времяпролетным масс-спектром Великобритания Аренда, Заказ исследования Ставрополь
Установка для исследования поверхности твердых тел SIENTA R3000 ARPES (OMICRON) Германия Аренда, Заказ исследования Владивосток
Установка исследования механических свойств материалов на наноуровне «NANOTEST 600» (Micro) Великобритания Аренда, Заказ исследования Самара
Высокочастотная емкостная плазменная установка РФ Аренда, Заказ исследования Казань
Напылительная установка Q 150T ES Великобритания Аренда, Заказ исследования Архангельск
Установка вакуумно-дугового нанесения защитных покрытий УРМ3.273.070 РФ Аренда, Заказ исследования Москва