| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Швейцария |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 500 тыс. до 1 млн. руб. |
Описание
Установка инспекции пластин в ИК-свете WBI оснащена источником ИК света и коллиматором, который освещает пластину пучком света с равномерной интенсивностью. ИК чувствительная камера отображает образ проверяемой пластины через порт USB на монитор компьютера. Поле зрения и увеличение могут быть настроены вручную. Компания Idonus изготавливает установки контроля под пластины размеров 100, 150 и 200 мм.
Основные возможности:
Контроль пластин до и после сращивания
Совмещение кремниевых пластин/чипов
Контроль качества
Инспекция отдельных устройств MEMS
Измерение скорости травления скрытых структур (например, КНИ пластин)
Основные возможности:
Контроль пластин до и после сращивания
Совмещение кремниевых пластин/чипов
Контроль качества
Инспекция отдельных устройств MEMS
Измерение скорости травления скрытых структур (например, КНИ пластин)
