Установка плазмохимического реактивно-ионного травления Corial 210RL (Corial)
14 сентября 2018
496
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Франция |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
Установка реактивно-ионного травления, которая предназначена для травления кремниевых сплавов SiO2 , Si3N4 и металлов ( W, Nb, Ta, Mo) с химией, основанной на фторировании.
Основные возможности:
Установка стандартно укомплектована безмасляным насосом
Использование специальных челноков оптимизировано для каждого процесса перехода с кремниевого травления к травлению металлов. Это позволяет минимизировать эффект памяти и перезагрязнение.
Использование вакуумного замка обеспечивает безопасность и повторяемость процесса
Датчик завершения процесса полностью интегрирован в систему и в программное обеспечение. Это дает возможность контроля за процессом травления, определения степени травления в реальном времени и подсчет глубины травления с автоматической остановкой процесса
Основные возможности:
Установка стандартно укомплектована безмасляным насосом
Использование специальных челноков оптимизировано для каждого процесса перехода с кремниевого травления к травлению металлов. Это позволяет минимизировать эффект памяти и перезагрязнение.
Использование вакуумного замка обеспечивает безопасность и повторяемость процесса
Датчик завершения процесса полностью интегрирован в систему и в программное обеспечение. Это дает возможность контроля за процессом травления, определения степени травления в реальном времени и подсчет глубины травления с автоматической остановкой процесса