Автоматизированная система оптического контроля сторон пластины ODIN (HSEB)
14 сентября 2018
509
Классификация оборудования | |
Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
Страна производства | Германия |
Предоставляемое количество | 1 |
Условия использования | |
Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
Новейшая система полностью автоматизированного оптического контроля (AOI) фронтальной и тыльной сторон устройства. Лучшие в своем классе производительность и чувствительность при малой стоимости обслуживания. Интегрированные функции оптического контроля и измерения. Основные возможности: Возможность полного осмотра чистых пластин и пластин со нанесенным рисунком, включая кромку и тыльную сторону. Высокая производительность дополняется исключительной чувствительностью.
Обнаружение дефектов размерами от 1 мкм до полной пластины. Легкие в создании и использовании рецепты.
100% осмотр поверхности, выделенной области, а также осмотр одиночных чипов и частей кристаллов. Новейшие измерительные программы в расширенном комплекте поставки. Высокая вариативность при модульной совместимости с системами WOTAN и THOR.
Обнаружение дефектов размерами от 1 мкм до полной пластины. Легкие в создании и использовании рецепты.
100% осмотр поверхности, выделенной области, а также осмотр одиночных чипов и частей кристаллов. Новейшие измерительные программы в расширенном комплекте поставки. Высокая вариативность при модульной совместимости с системами WOTAN и THOR.