Автоматический спектроскопический эллипсометр SENDURO® (SENTECH Instruments)
14 сентября 2018
508
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Германия |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
Предназначен для измерения на пластинах до 300 мм. Система позволяет измерять толщину пленок в диапазоне от нескольких ангстрем до 50 микрон. Установка оснащена роботом для загрузки пластин из кассеты в кассету. Высокая стабильность и точность при измерения. Высокая скорость измерения образцов. Измерение толщин пленок от 1 нм. до 10 000 нм. (ультра-тонкие пленки). Измерение оптических характеристик пленок. Полностью автоматическое выравнивание образца при измерении. Измерения на прозрачных и поглощающих подложках. Управление нажатием кнопки. Удобное программное обеспечение SpectraRay/4.
