Установка плазменного травления в индуктивно-связанной плазме SI 500 (SENTECH)
Установка плазменного травления в индуктивно-связанной плазме SI 500 (SENTECH)

Установка плазменного травления в индуктивно-связанной плазме SI 500 (SENTECH)

ООО "Минатех"
14 сентября 2018
555
Классификация оборудования
Оборудование для реализации физико-химических и химических процессов
Страна, регион, город Российская Федерация, Москва
Страна производства Германия
Предоставляемое количество 1
Условия использования
Продажа
Стоимостная группа от 1 до 10 млн. руб.

Описание

Продвинутая система плазменного травления в индуктивно-связанной плазме с вакуумным загрузочным шлюзом, высокопроизводительной откачной системой и гелиевым охлаждением обратной стороны подложки, предназначенная для использования в НИОКР и мелкосерийном производстве. ОПЦИИ: in-situ эллипсометр, лазерный интерферометр, OES спектрометр, кластерная конфигурация. Размер подложек до 8’‘ (Ø 200 мм) / до 12’‘ (Ø 300 мм)
Найти аналог
Вам может быть интересно
Наименование Страна производства Условия использования Расположение
Экспериментальная установка для синтеза во взвешенном слое (СПГУ) РФ Аренда, Заказ исследования Санкт-Петербург
Ростовая установка «Ника-3» РФ Аренда, Заказ исследования Мурманск
Установка химической обработки PCB 500S (Mega Electronics) Великобритания Аренда, Заказ исследования Москва
Каталитическая установка для проведения испытаний активности и селективности гетерогенных катализаторов РФ Аренда, Заказ исследования Пермь
Установка плазмохимической обработки «ТеТеМ» РФ Аренда, Заказ исследования Москва
Установка обработки в парах гексаметилдисилазана Cee® 1300X (Brewer Science) США Аренда, Заказ исследования Москва
Лабораторная варочная установка периодического действия с системой рециркуляции Австрия Аренда, Заказ исследования Санкт-Петербург
Установка для исследования процессов полного каталитического окисления биотоплив РФ Аренда, Заказ исследования Йошкар-Ола
Многореакторная каталитическая установка Multi Reactor System MRS-5000-T-SS-230-TW-H-AC-2500-MB-CC-ASME (Parr) США Аренда, Заказ исследования Москва
Каталитическая установка проточного типа Tubular Reactor System 5403-SS-230-ST3-3000-PCC-GF2-PL-LF1-ISP-CSS-ITW-CHX-GLS1000-AP-1ASV РФ Аренда, Заказ исследования Москва