Установка плазмохимического травления XPL-26 (Secon)
14 сентября 2018
443
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Нижегородская область, Нижний Новгород |
| Страна производства | США |
| Год производства | 2014 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | от 6 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Используется для проведения процессов плазмохимического травления в комбинированной плазме емкостного и индуктивного разряда. Установка предназначена как для интенсивных исследований и разработок, так и для мелкосерийного выпуска продукции в составе пилотной производственно-технологической линии. В установке полностью реализованы все современные особенности процессов контролируемого плазмохимического травления полупроводниковых и диэлектрических слоев.