Установка реактивно-ионного травления SI 591 RIE (SENTECH)
Установка реактивно-ионного травления SI 591 RIE (SENTECH)

Установка реактивно-ионного травления SI 591 RIE (SENTECH)

ООО "Минатех"
14 сентября 2018
524
Классификация оборудования
Оборудование для реализации физико-химических и химических процессов
Страна, регион, город Российская Федерация, Москва
Страна производства Германия
Предоставляемое количество 1
Условия использования
Продажа
Стоимостная группа от 1 до 10 млн. руб.

Описание

Предназначена для реализации процессов сухого плазменного травления. Позволяет обрабатывать как пластины диаметром до 200 мм, так и кусочки. Мощная двухступенчатая вакуумная система позволяет быстро откачивать камеру реактора и получать достаточно глубокий вакуум для проведения процессов травления. Обработка пластин диаметром до 200 мм или до 7х7 дюймов; Процесс: RIE; Вакуумный загрузочный шлюз; Химия: фторна / хлорная; Кластерная конфигурация; Групповая обработка пластин; Держатели для пластин меньшего размера; Компактный дизайн и малая занимаемая площадь; до 16 газовых линий (фторная химия); Программное обеспечение SENTECH control software.
Найти аналог
Вам может быть интересно
Наименование Страна производства Условия использования Расположение
Экспериментальная установка для синтеза во взвешенном слое (СПГУ) РФ Аренда, Заказ исследования Санкт-Петербург
Ростовая установка «Ника-3» РФ Аренда, Заказ исследования Мурманск
Установка химической обработки PCB 500S (Mega Electronics) Великобритания Аренда, Заказ исследования Москва
Каталитическая установка для проведения испытаний активности и селективности гетерогенных катализаторов РФ Аренда, Заказ исследования Пермь
Установка плазмохимической обработки «ТеТеМ» РФ Аренда, Заказ исследования Москва
Установка обработки в парах гексаметилдисилазана Cee® 1300X (Brewer Science) США Аренда, Заказ исследования Москва
Лабораторная варочная установка периодического действия с системой рециркуляции Австрия Аренда, Заказ исследования Санкт-Петербург
Установка для исследования процессов полного каталитического окисления биотоплив РФ Аренда, Заказ исследования Йошкар-Ола
Многореакторная каталитическая установка Multi Reactor System MRS-5000-T-SS-230-TW-H-AC-2500-MB-CC-ASME (Parr) США Аренда, Заказ исследования Москва
Каталитическая установка проточного типа Tubular Reactor System 5403-SS-230-ST3-3000-PCC-GF2-PL-LF1-ISP-CSS-ITW-CHX-GLS1000-AP-1ASV РФ Аренда, Заказ исследования Москва