Установка криогенного травления в индуктивно-связанной плазме SI 500 С (SENTECH)
Установка криогенного травления в индуктивно-связанной плазме SI 500 С (SENTECH)

Установка криогенного травления в индуктивно-связанной плазме SI 500 С (SENTECH)

ООО "Минатех"
14 сентября 2018
564
Классификация оборудования
Оборудование для реализации физико-химических и химических процессов
Страна, регион, город Российская Федерация, Москва
Страна производства Германия
Предоставляемое количество 1
Условия использования
Продажа
Стоимостная группа от 1 до 10 млн. руб.

Описание

Предназначена для проведения высокоскоростного плазмо-химического травления кремния при создании MEMS структур и микрооптики. Позволяет обрабатывать как пластины диаметром до 200 мм, так и кусочки. Мощная двухступенчатая вакуумная система позволяет быстро откачивать камеру реактора и получать достаточно глубокий вакуум для проведения процессов травления. Отличительной особенностью системы SI 500 С является запатентованный источник индуктивно связанной плазмы ICP-PTSA 200 (плоская тройная спиральная антенна), специально подходящий для травления с низким повреждением структуры, электрод подложки с гелиевым охлаждением и динамическим контролем температуры для поддержания постоянной температуры независимо от мощности плазмы, вакуумная система позволяет обеспечивать высокую производительность требуемую для процессов травления и магнито-пневматический загрузочный шлюз для высочайшей надежности при загрузке/ выгрузке пластин. Все важнейшие параметры системы контролируются автоматически.
Найти аналог
Вам может быть интересно
Наименование Страна производства Условия использования Расположение
Экспериментальная установка для синтеза во взвешенном слое (СПГУ) РФ Аренда, Заказ исследования Санкт-Петербург
Ростовая установка «Ника-3» РФ Аренда, Заказ исследования Мурманск
Установка химической обработки PCB 500S (Mega Electronics) Великобритания Аренда, Заказ исследования Москва
Каталитическая установка для проведения испытаний активности и селективности гетерогенных катализаторов РФ Аренда, Заказ исследования Пермь
Установка плазмохимической обработки «ТеТеМ» РФ Аренда, Заказ исследования Москва
Установка обработки в парах гексаметилдисилазана Cee® 1300X (Brewer Science) США Аренда, Заказ исследования Москва
Лабораторная варочная установка периодического действия с системой рециркуляции Австрия Аренда, Заказ исследования Санкт-Петербург
Установка для исследования процессов полного каталитического окисления биотоплив РФ Аренда, Заказ исследования Йошкар-Ола
Многореакторная каталитическая установка Multi Reactor System MRS-5000-T-SS-230-TW-H-AC-2500-MB-CC-ASME (Parr) США Аренда, Заказ исследования Москва
Каталитическая установка проточного типа Tubular Reactor System 5403-SS-230-ST3-3000-PCC-GF2-PL-LF1-ISP-CSS-ITW-CHX-GLS1000-AP-1ASV РФ Аренда, Заказ исследования Москва