Установка реактивно-ионного травления 200R (CORIAL)

Предназначена для травления кремниевых сплавов SiO2, Si3N4 и металлов (W, Nb, Ta, Mo) с химией, основанной на фторировании. Особенности: установка стандартно укомплектована безмасляным насосом; использование специальных челноков оптимизировано для каждого процесса перехода с кремниевого травления к травлению металлов (это позволяет минимизировать эффект памяти и перезагрязнение); использование вакуумного замка обеспечивает безопасность и повторяемость процесса; датчик завершения процесса полностью интегрирован в систему и в программное обеспечение (это даёт возможность контроля за процессом травления, определения степени травления в реальном времени и подсчёт глубины травления с автоматической остановкой процесса).