Установка ионно-лучевого и плазменного распыления TF600 (HHV)
14 сентября 2018
485
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Башкортостан, Уфа |
| Страна производства | США |
| Год производства | 2013 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | договорная |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Позволяет использовать различные модификации камер шириной 600 мм, располагать подложку и верхнюю плиту согласно требованиям заказчика, а также выбирать устройства напыления и откачных систем высокой производительности, что делает ее исключительно гибкой платформой для исследований и производства. Дополнительные возможности управления технологическим процессом позволяют выполнять циклы многослойного напыления нажатием одной кнопки.