Нанотехнологический комплекс "Нанофаб 100" (НТ-МДТ)
14 сентября 2018
634
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | РФ |
| Год производства | 2015 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | договорная |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Предназначен для исследовательских целей в различных областях нанотехнологии (микро- и наноэлектроника, нанофотоника, наноматериаловедение и пр.), так и для мелкосерийного производства наноструктур, наноэлементов и наноустройств. НТК Нанофаб состоит из трех основных модулей, соединенных единой транспортной вакуумной системой, позволяющей транспортировать между модулями пластины диаметром до 100 мм: модуль молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ) для формирования гетрострукутр на основе GaN/AlGaN гетероструктур; модуль совмещенных фокусированного ионного пучка (ФИП) и сканирующего электронного микроскопа (СЭМ); модуль вакуумного атомно-силового микроскопа (АСМ). Также в состав модуля входят камера прогрев пластин, камера высокотемпературного вакуумного отжига, камера загрузки и камера смены зондов АСМ.