Установка плазмохимического травления с криогенной установкой PlasmaLab 100 ICP 380 (Oxford Instruments)
Установка плазмохимического травления с криогенной установкой PlasmaLab 100 ICP 380 (Oxford Instruments)

Установка плазмохимического травления с криогенной установкой PlasmaLab 100 ICP 380 (Oxford Instruments)

НПП РАДИЙ
14 сентября 2018
708
Классификация оборудования
Оборудование для реализации физико-химических и химических процессов
Страна, регион, город Российская Федерация, Москва
Страна производства Великобритания
Год производства 2013
Предоставляемое количество 1
Условия использования
Аренда|Заказ исследования
Стоимостная группа от 10 млн руб
Стоимость предоставления услуг договорная
Регламент предоставления услуги —
Объект коллективного пользования Нет
Наличие аккредитации Нет
Наличие ГОСТированной методики Нет

Описание

Установка предназначена для анизотропного сухого плазмохимического травления материалов микроэлектроники на основе кремния (Si, SiN, SiO и т.п.) и обеспечивает работу с подложками размером от 50,8 мм до 200 мм толщиной 300-500 мкм. Установка является технологической установкой сухого плазменного травления, при котором травители присутствуют в газообразной форме в плазменном энергетическом поле, обеспечивая рисунок анизотропным травлением. Для создания газовой плазмы используется емкостной разряд.
Найти аналог
Вам может быть интересно
Наименование Страна производства Условия использования Расположение
Экспериментальная установка для синтеза во взвешенном слое (СПГУ) РФ Аренда, Заказ исследования Санкт-Петербург
Ростовая установка «Ника-3» РФ Аренда, Заказ исследования Мурманск
Установка химической обработки PCB 500S (Mega Electronics) Великобритания Аренда, Заказ исследования Москва
Каталитическая установка для проведения испытаний активности и селективности гетерогенных катализаторов РФ Аренда, Заказ исследования Пермь
Установка плазмохимической обработки «ТеТеМ» РФ Аренда, Заказ исследования Москва
Установка обработки в парах гексаметилдисилазана Cee® 1300X (Brewer Science) США Аренда, Заказ исследования Москва
Лабораторная варочная установка периодического действия с системой рециркуляции Австрия Аренда, Заказ исследования Санкт-Петербург
Установка для исследования процессов полного каталитического окисления биотоплив РФ Аренда, Заказ исследования Йошкар-Ола
Многореакторная каталитическая установка Multi Reactor System MRS-5000-T-SS-230-TW-H-AC-2500-MB-CC-ASME (Parr) США Аренда, Заказ исследования Москва
Каталитическая установка проточного типа Tubular Reactor System 5403-SS-230-ST3-3000-PCC-GF2-PL-LF1-ISP-CSS-ITW-CHX-GLS1000-AP-1ASV РФ Аренда, Заказ исследования Москва