| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | РФ |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 10 млн руб |
Описание
Позволяет наносить на подложку диаметром до 200 мм покрытия путем магнетронного распыления мишеней из электропроводных материалов, а так же диэлектрических в случае использования высокочастотных блоков питания. Поддерживается режим реактивного распыления. Поочередно в одном технологическом цикле могут использоваться четыре магнетрона. Четыре магнетрона установленные на крышке камеры могут перемещаться от стенки камеры к ее центру с помощью электроприводов. В парковочном положении у стенки камеры магнетроны могут закрываться индивидуальными управляемыми заслонками. Магнетрон, совершающий напыление, двигается от стенки камеры к центру и обратно. Подложка при этом находится на вращающемся столе. Управляя скоростью магнетрона и стола, мы управляем равномерностью нанесения пленки. Могут применяться магнетроны с мишенями 1, 2 и 3 дюйма, в зависимости от ваших приоритетов: стоимость мишени или скорость напыления. Рабочий стол вращающийся, нагреваемый с вертикальным лифтом.