Установка магнетронного напыления Caroline D12B

Предназначена для магнетронного напыления на керамические, кремниевые и любые плоские (толщина не более 30 мм.) подложки размером до Ø 150 мм. (максимальная плоскость обрабатываемых изделий 150х350 мм). Магнетроны (от 1 до 4-х шт.) устанавливаются внутри барабана. Напыление ведётся, вертикально распыляя материал на внутреннюю сторону носителей вращающихся на барабане. Установка комплектуется магнетронами от одного до четырёх штук для распыления любых материалов, например: резистивные сплавы, Cu, Cr, Ni, Al и т.п.