Установка магнетронного напыления Caroline D12B1

Предназначена для двустороннего магнетронного напыления на керамические, кремниевые и любые плоские (толщина не более 30 мм.) подложки размером до Ø 150 мм (максимальная плоскость обрабатываемых изделий 150х350 мм). Установка комплектуется 7-ю магнетронами, которые установлены 4 шт. внутри барабана и 3 шт. снаружи в специальных дверях. Таким образом, напыление ведётся вертикально, нанося материал на внешнюю и внутреннюю стороны носителей вращающихся на барабане. Установка комплектуется магнетронами для распыления любых материалов, например, резистивные сплавы Cu, Cr, Ni, Al и т.п. Автономное управление заслонками на позициях напыления (одновременно могут быть открыты пары магнетронов в позициях 1 и 3 либо в позициях 2 и 4).