Автоматизированная установка ионно-лучевого травления Caroline IE12 (РУ-ВЭМ)
14 сентября 2018
684
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | РФ |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
Предназначена для травления тонких слоев резистивных сплавов, металлов и диэлектриков на любых плоских (толщина не более 30 мм.) подложках размером до Ø 150 мм. (максимальная плоскость обрабатываемых деталей 150х320 мм.). Установка имеет два вертикально установленных протяженных ионных источника с размером ионного луча по вертикали 350 мм. Травление может производиться через фоторезистивную или металлическую маску. Установка обеспечивает: стабилизацию заданного расхода технологических газов по двум каналам и контроль расхода газа по каждому каналу; вертикальное расположение ионных источников; вертикальное размещение изделий (подложек) на вращающемся барабане; автоматическое выполнение программ «от загрузки до разгрузки»; автоматическое окончание травления пленок по заданному времени; размещение изделий на легко снимаемых с барабана носителях с целью сокращения времени загрузки и выгрузки.