Установка термического вакуумного напыления mini-Spectros (Kurt J.Lesker Company)

Предназначена для испарения органических материалов и производства OLED. Установка оснащена термическими испарителями, испарителями органических материалов и магнетронами. В качестве опций предлагаются различные конфигурации перчаточных боксов. Управление установкой mini-Spectros осуществляется при помощи ПК с «тач-скрин» дисплеем. Установка работает как в полностью ручном, так и в автоматическом режиме по рецептам. В автоматическом режиме выполнение программы происходит по нажатию одной кнопки. Система настраивается таким образом, что стандартный процесс инициируется кнопкой старт сразу после закрытия камеры: откачка, очистка, напыления и напуск происходят автоматически, по заранее заложенной программе.