Установка магнетронного напыления пленок VSE-PVD-100 (Vacuum Systems)
14 сентября 2018
491
Классификация оборудования | |
Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
Страна производства | Великобритания |
Год производства | 2014 |
Предоставляемое количество | 1 |
Условия использования | |
Стоимостная группа | от 10 млн руб |
Стоимость предоставления услуг | договорная |
Регламент предоставления услуги | — |
Объект коллективного пользования | Нет |
Наличие аккредитации | Нет |
Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Установка предназначена для многослойного напыления металлов и диэлектриков на твёрдые образцы. Это оптимальная конфигурация вакуумной системы для решения множества исследовательских и производственных задач. Данная установка успешно используется для серийного выпуска высокотехнологичной продукции. D-образная камера с большой дверью даёт возможность размещения не менее 10 подложек диаметром 50 мм или 6 подложек диаметром 100 мм. Рабочий цикл при одностороннем напылении составляет 2-3 часа.