Установка магнетронного напыления пленок VSE-PVD-100 (Vacuum Systems)
14 сентября 2018
749
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Великобритания |
| Год производства | 2014 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 10 млн руб |
| Стоимость предоставления услуг | договорная |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Установка предназначена для многослойного напыления металлов и диэлектриков на твёрдые образцы. Это оптимальная конфигурация вакуумной системы для решения множества исследовательских и производственных задач. Данная установка успешно используется для серийного выпуска высокотехнологичной продукции. D-образная камера с большой дверью даёт возможность размещения не менее 10 подложек диаметром 50 мм или 6 подложек диаметром 100 мм. Рабочий цикл при одностороннем напылении составляет 2-3 часа.