Установка магнетронного напыления Cryofox Explorer 600, Polyteknik
27 апреля 2019
596
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Дания |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 10 млн руб |
Описание
Представляют из себя систему большим объёмом камеры, оснащенную одним источником электронного луча и двумя 2-дюймовыми магнетронами, индивидуально питаемыми от источника постоянного тока. Имеет раздельное строение камер: держатель подложки с водяным охлаждением помещены в верхнюю камеру (загрузочную камеру), а источники испарителя расположены в основной камере внизу. Данная установка предлагает множество возможностей, включая одновременное осаждение и реактивные процессы напыления. Система может работать как в полностью автоматическом, так и ручном режиме. Программное обеспечение Cryosoft3 обеспечивает уникальный контроль процесса осаждения, а также удобный интерфейс.