Установка электронно-лучевого напыления ВАТТ — 300ЭЛ/СВ
14 сентября 2018
490
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Санкт-Петербург |
| Страна производства | РФ |
| Год производства | 2009 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | договорная |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Установка предназначена для получения методом электронно-лучевого испарения высокочистых тонких пленок висмута на различных подложках в сверхвысоком вакууме. Точность задания толщины пленок 1 нм. Глубина вакуума от 10-5 до 10-9 мм. рт. ст. Температура подложки в процессе напыления от 293 до 573 К.