Высоковакуумный аналитический комплекс на базе электронного микрозонда NTK-USPM-REELS

Высоковакуумный аналитический комплекс предназначен для анализа характеристических потерь энергии отраженных электронов, спектроскопии упруго-отраженных электронов (REELS), Оже-электронной спектроскопии (AES), рентгеноэлектронной спектроскопии (РФЭС), ультрафиолетовой спектроскопии (UPS), низковольтной спектроскопии рассеяния медленных ионов (ISS) поверхности, оснащен двумя электронными пушками с изменяемыми ускоряющими напряжениями в диапазоне 1 – 30 кВ и разбросом по энергии менее 0,4 эВ. Изменяемый диаметр пучка составляет от 500 мкм до 25 мм при рабочей дистанции 25 мм (диапазон рабочей дистанции от 100 до 1000 мм). Спектрометр характеристических потерь обеспечивает регистрацию отраженных электронов с энергиями до 15 кэВ с выбранного участка образца. Разрешение спектрометра по энергии лучше 0,001 эВ в режимах UPS и лучше 0,03 эВ для электронной спектроскопии энергетических потерь при энергии электронов 15 кэВ с угловым разрешением лучше 0,1 град. Комплекс оснащен электронной пушкой для нейтрализации заряда на образце. Рабочее давление в камере для образцов не хуже 5•10-8 Па, столик дл образцов позволяет вести исследования при нагреве до 1073 К (максимальное время отжига 99 часов) или охлаждении до 77 К. Шлюз оснащен устройством приготовления скола и ионной пушкой для предварительной очистки образца