Комплекс спектрально-эллипсометрический быстродействующий "КАТАКОН"

Спектральный эллипсометр предназначен для: исследования многослойных структур, состоящих из полупроводниковых, диэлектрических и металлических слоев в произвольном сочетании; измерения спектров оптических постоянных полупроводников, диэлектриков, металлов и других материалов; характеризации структурных и композиционных свойств материалов; исследования свойств поверхности (наличие загрязнений и остаточных слоев, микрорельефа и т.п.). Спектральный эллипсометр имеет следующие характеристики: спектральный диапазон 250 – 1000 нм, спектральное разрешение 3 нм, размер светового пятна 4х8 мм, время измерения одного спектра 20 с. Программное обеспечение позволяет проводить измерения спектров, моделирование и содержит базу данных по оптическим спектрам различных материалов.