Установка лазерной безмасковой фотолитографии mPG101 (Hidelberg)
14 сентября 2018
359
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Карелия, Петрозаводск |
| Страна производства | Германия |
| Год производства | 2012 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 500 тыс. до 1 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | от 15 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Предназначена для формирования топологических структур на металлизированных пластинах при производстве фотошаблонов, интегральных схем, гибридных интегральных схем, а также для формирования микроструктур на пластинах кремния, стекле, пленках и других материалах с фоторезистивным покрытием при производстве МЭМС, БиоМЭМС, интегрированной оптики.