Быстродействующий встраиваемый эллипсометр ЛЭФ-959 (ИФП СО РАН)
14 сентября 2018
838
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Омская область, Омск |
| Страна производства | РФ |
| Год производства | 2010 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | от 815 руб. |
| Регламент предоставления услуги | 1. Изучение ширины и состояния пленочных оксидных покрытий на полупроводниковых материалах, включая пористый кремний.2. Профили распределения переходных полупроводниковых оксидов в пористых многослойных структурах. |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Принцип действия основан на измерении состояния поляризации светового пучка, которое определяется по результатам сравнения углов поворота поляризатора, компенсатора и анализатора. Решаемые задачи: определение показателя преломления и поглощения (оптических постоянных) материалов (в твердом и жидком состояниях), исследование пленок и пористых объектов, включая, шероховатости поверхностей, а также профили распределения компонентов в многослойных структурах.