Вакуумный эллипсометрический комплекс ВЭК-600 (ЛЭПМиС)
14 сентября 2018
410
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Новосибирская область, Новосибирск |
| Страна производства | РФ |
| Год производства | 2014 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | от 5 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Предназначен для исследования оптических свойств тонкоплёночных структур в широком диапазоне температур, адсорбционно-десорбционных и других процессов, обусловленных взаимодействием атомарно чистой поверхности с газовой фазой. Комплекс состоит из быстродействующего лазерного эллипсометра, сопряженного с вакуумной камерой, оснащенной системой откачки, напуска газов, терморегулирования и контроля параметров.