| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Япония |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
Предназначена для использования с полупроводниковыми пластинами 100/150/200/300 мм. Оснащена спектроскопическим эллипсометром. Модели серии RE объединяют в себе спектральный рефлектометр и одночастотные эллипсометры, что позволяет использовать необходимый метод измерения для каждой конкретной пленки. Основные возможности: Измерение пленки толщиной от 0 нм до 3 мкм. Измерение толщины многослойных пленок. Анализ шероховатости поверхности.