| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Санкт-Петербург |
| Страна производства | Германия |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
Позволяет работать с образцами до 200 мм и достигать размеров минимального элемента до 0,6 мкм. Может быть укомплектована любым лазерным источником с необходимой заказчику длиной волны, в зависимости от области применения и фоточувствительных свойств резистов. По запросу заказчика система монтируется в специальном напольном корпусе, включающем в себя защитную камеру и систему вибрационной защиты.