Настольная установка лазерной безмасковой литографии MPG 101 (Heidelberg Instruments)
14 сентября 2018
708
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Германия |
| Год производства | 2014 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 500 тыс. до 1 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | договорная |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Предназначена для решения задач, не требующих высокой производительности - лабораторные исследования, НИОКР, опытное производство. Экспонирование по фоторезсту или фотоэмульсии. Минимальный топологический размер 0,6 мкм. Сменные пишущие головки на 0,6 мкм, 1,0 мкм, 2,5 мкм, 5,0 мкм. Скорость письма от 1 до 90 мм2/мин в зависимости от выбора пишущей линзы. Размер шаблонов или пластин до 6 х 6 дюймов.Область экспонирования до 125 х 125 мм. Растровое (бинарное) экспонирование, векторное экспонирование (Vector Exposure Mode) и 3D экспонирование для режима полутоновой шкалы экспонирования (Basic Gray Scale ExposureMode).
