Установка безмасковой лазерной литографии VPG 200 (Heidelberg Instruments)
Установка безмасковой лазерной литографии VPG 200 (Heidelberg Instruments)

Установка безмасковой лазерной литографии VPG 200 (Heidelberg Instruments)

ООО "Минатех"
14 сентября 2018
462
Классификация оборудования
Оборудование для оптических измерений и исследований (кроме микроскопов и телескопов)
Страна, регион, город Российская Федерация, Москва
Страна производства Германия
Предоставляемое количество 1
Условия использования
Продажа
Стоимостная группа от 1 до 10 млн. руб.

Описание

Предназначена для задач производств крупных серий для формирования топологических структур на металлизированных фотошаблонах при производстве интегральных схем, гибридных интегральных схем, а также для формирования структур на пластине, при производстве МЭМС, БиоМЭМС, интегрированной оптики и др. Для обеспечения высокоточного перемещения подложки генератор оборудован специальной оптической системой и системой позиционирования подложки. Во время экспонирования положение координатного столика контролируется с помощью интерферометрической системы высокого разрешения. Оптическая ситема смонтрована на тяжелом гранитном основании.
Найти аналог
Вам может быть интересно
Наименование Страна производства Условия использования Расположение
Установка упорядоченного наноструктурирования объектов фемтосекундным излучением XENON РФ Аренда, Заказ исследования Владимир
Установка оцифровки картин электронной дифракции DITABIS micron (Digital Biomedical Imaging Systems) США Аренда, Заказ исследования Москва
Установка для измерения электрических и оптических параметров лазерных линеек IELD-8 РФ Аренда, Заказ исследования Владимир
Установка инспекции и макро инспекции кромки пластины Macro Only (HSEB) Германия Продажа Москва
Установка для испытания кабелей на огнеостойкость РФ Аренда, Заказ исследования Пермь
Установка лабораторная "методы и технические средства измерения температуры" ИВ1 РФ Аренда, Заказ исследования Красноярск
Установка измерения параметров элементов матричных ИК детекторов. Стандартные элементы, входящие в установку: Абсолютно черное тело; Синхронный детектор: Персональный компьютер со специальным программным обеспечением РФ Аренда, Заказ исследования Москва
Лабораторная установка «Определение теплопроводности воздуха методом нагретой нити» РФ Аренда, Заказ исследования Москва
Сверхвысоковакуумная автоматизированная опытная установка импульсного лазерного осаждения (ИЛО) тонкопленочных слоев (разработка лаборатории НИЯУ МИФИ) РФ Аренда, Заказ исследования Москва
Автоматизированная опытная установка реактивного импульсного лазерного осаждения тонкопленочных слоев сульфидов (разработка лаборатории НИЯУ МИФИ) РФ Аренда, Заказ исследования Москва